（記者 宋維東）【芯源微(688037)、股吧】（688037）8月27日晚發布2021年半年報。上半年，公司實現營業收入3.51億元，同比增長461.85%；實現歸屬于上市公司股東的凈利潤3506.99萬元，同比增長464.05%。

　　芯源微主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品包括光刻工序涂膠顯影設備（涂膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），可用于8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進封裝環節）及6英寸及以下單晶圓處理（如化合物、MEMS、LED芯片制造等環節）。

　　芯源微表示，公司堅持以市場方向和客戶需求為導向，不斷對產品進行技術完善和革新，持續加大自主研發力度。報告期內，公司研發支出4939.76萬元，占營業收入的14.08%。截至2021年6月30日，公司共獲得專利授權212項。其中，發明專利159項（中國大陸地區發明專利143項，中國臺灣地區發明專利14項，美國發明專利2項），實用新型專利31項，外觀設計專利22項；擁有軟件著作權49項。

　　在市場銷售方面，公司生產的前道涂膠顯影設備已陸續獲得上海華力、長江存儲、武漢新芯、中芯紹興、廈門士蘭集科、上海積塔、株洲中車、青島芯恩、中芯寧波、昆明京東方等多個前道大客戶訂單；前道Spin Scrubber清洗機設備已在【中芯國際(688981)、股吧】、上海華力、廈門士蘭集科等多個客戶處通過工藝驗證，并已獲得國內多家Fab廠商的批量重復訂單。

　　涂膠顯影設備與單片式濕法設備已經從先進封裝領域、LED領域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領域，作為主流機型應用于臺積電、長電科技（600584）、華天科技（002185）、通富微電（002156）、【晶方科技(603005)、股吧】（603005）、華燦光電（300323）、乾照光電（300102）、澳洋順昌、中芯紹興、中芯寧波等國內一線大廠。公司通過借鑒前道產品的先進設計理念和技術，對后道設備、小尺寸設備的架構進行優化，提升了工藝水平和產品產能。應用了前道先進設計理念及技術的后道產品在國內多家封裝大廠Fan-out產線應用，目前已經成為客戶端的主力量產設備。

　　截至目前，公司生產的用于集成電路前道晶圓加工領域及后道先進封裝、LED、MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領域的涂膠顯影設備和單片式濕法設備已累計出廠1000余臺套。